«ГРУППА КРЕМНИЙ ЭЛ» получит 400 млн. рублей на производство КСДИ-пластин нового уровня для микроэлектроники

АО «ГРУППА КРЕМНИЙ ЭЛ» успешно защитило заявку на конкурсе Министерства промышленности и торговли РФ на получение федеральных субсидий на проведение научно-исследовательских и опытно-конструкторских работ в области средств производства электроники.

В конкурсе участвовало 74 проекта, федеральные средства будут направлены на реализацию 26 из них, в том числе АО «ГРУППА КРЕМНИЙ ЭЛ», которое заняло 9 место в рейтинге заявок.

Соглашение между брянским предприятием и Минпромторгом РФ о выделении из федерального бюджета 400 млн. рублей на реализацию проекта по разработке и серийному выпуску новых типов кремниевых структур с полной диэлектрической изоляцией (КСДИ-пластин) было подписано во вторник. Сроки реализации проекта – 2021-2030 годы, из них на разработку придутся 2021-2023 годы.

«За это время будет разработана технология производства и освоен серийный выпуск КСДИ-пластин с улучшенными характеристиками, такими как: КСДИ-пластины на основе «тренч»-технологий с полностью вертикальной изоляцией, КСДИ-пластины со сниженным разбросом толщин рабочих слоёв и возможностью изготовления уменьшенной глубины карманов, КНИ-пластины. Ближайшие аналоги продукции, изготавливаемой по этой технологии, выпускаются только за рубежом, в России это производство не имело и не имеет аналогов. Реализация проекта позволит обеспечить отечественные предприятия микроэлектроники современными материалами, а нашему заводу – расширить номенклатуру и сделать серьёзный технологический задел в сторону повышения качества продукции и освоения современных разработок микроэлектронных изделий», – сообщил генеральный директор АО «ГРУППА КРЕМНИЙ ЭЛ» Олег Данцев.